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Aluminiumnitrid-Keramik-Heizung
  • XMCERA
  • XIAMEN
  • 45 TAGE
  • 1000PCS

Aluminiumnitridkeramik Heater hat Eigenschaften, hohe Wärmeleitfähigkeit, ausgezeichneten Wärmeausgleich und elektrische Isolierung. ALN Keramikheizer ist weithin für Halbleiterherstellungsvorrichtungen verwendet werden, und es kann für Vakuumverdampfungssystem (VES), Sputtern und CVD-Maschinen-Geräte verwendet werden.

Aluminiumnitrid-Keramik-Heizung

Aluminiumnitrid-Keramik-Heizung

Aluminiumnitridkeramik Heizung hat Eigenschaften hoher thermoschockbeständig, hohe thermische Leitfähigkeit und elektrische Isolierung. ALN keramisches Heizelement wird hauptsächlich für die Halbleiterverarbeitung weit verbreitet, und es kann für Vakuumverdampfungssystem (VES), Sputtern und CVD-Maschinen-Geräte verwendet werden.

Aluminiumnitrid-Keramik-Heizung


Über Aluminiumnitridkeramiken

Aluminiumnitrid (AlN) Keramik ist ein ausgezeichnetes Keramikmaterial zu verwenden, wenn eine hohe Wärmeleitfähigkeit und elektrische Isolationseigenschaften erforderlich sind, ist es ein ideales Material für die Verwendung in Thermomanagement und elektrischen Anwendungen.

Aluminiumnitrid-Keramik-Heizung verfügt über einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten und elektrischen Isolationseigenschaften, die nahe an dem von Silizium-Wafer-Material, es ein nützliches Material für Elektronik Anwendungen, bei denen hohe Temperaturen und Wärmeableitung ist oft ein Problem.

Keramik Waferheizeinrichtung

Aluminiumnitridheizvorrichtung Mehrere Konfigurationen erhältlich 

• Platten 

• Pedestals (Platte hermetisch verbunden Welle) 

• Ringe 

• Kundenspezifische Anwendungen 


Verschiedene AlN-keramische Heizung Größen Unterstützte 

• 150 mm 

• 200 mm 

• 300 mm 

 

Optionen und Spezifikationen 

• Betriebstemperatur bis 750 ° C 

• Einzelne oder mehrere Heizzonen 

• Eingebettete RF-Antenne oder Masseebene vorhanden 

• Rampenrate von 10-15 ° C / Minute 

• Patentierte heißgepreßt, Unibody-Technologie


Eigenschaften von Aluminiumnitridkeramiken Heater

  • Hohe Wärmeleitfähigkeit

  • Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

  • Gute elektrische Isolierung und Widerstand

  • Mit niedriger Dielektrizitätskonstante

  • Hohe mechanische Festigkeit unter Druckbelastung

  • Korrosionsbeständiges (Gas)

  • Gute thermische Schockbeständigkeit


Anwendungen von Aluminiumnitridkeramiken Materialien

  • Wärmesenken und Wärmespreizer

  • Elektrische Isolatoren für Laser

  • Chucks, Klemmringen für die Halbleiterverarbeitungsausrüstung

  • elektrische Isolatoren

  • Silizium-Wafer Handhabung und Verarbeitung

  • Substrate & Isolatoren für mikroelektronische Bauelemente und opto elektronische Geräte

  • Substrate für elektronische Packungen

  • Chipträger für Sensoren und Detektoren

  • Chiplets

  • Spannzangen

  • Laser-Wärmemanagement-Komponenten

  • Geschmolzenes Metall Befestigungen

  • Pakete für Mikrowellen-Geräte

aln Keramikheizelement


Eigenschaften
Einheiten
Wert
Farbe

Grau
Mechanische Eigenschaften
Dichte
g / cm3
3.30
Elastizitätsmodul
GPa
310
Bruchzähigkeit
Mpa xm ^ 1/2
3.5
poissonzahl

0,25
Druckfestigkeit
MPa
2100
Biegefestigkeit
MPa
335
Härte (Knoop 100 g)
Kg / mm2
1170
Härte (Vickers)
GPa
11
Thermische Eigenschaften
Maximale Temperatur 


oxidierende
° C
700
Inert
° C
1300
Wärmeleitfähigkeit
@ 25 ° C
W / mK
180
@ 300 ° C
W / mK
130
Spezifische Wärme
J / kg K
750
Thermoschockbeständigkeit & Delta; T
° C
400
Ausdehnungskoeffizient


25 ° C CTE ➞ 100 ° C
10 ^ -6 / ° C
3.6
25 ° C CTE ➞ 300 ° C
10 ^ -6 / ° C
4.6
25 ° C CTE ➞ 500 ° C
10 ^ -6 / ° C
5.2
25 ° C CTE ➞ 1000 ° C
10 ^ -6 / ° C
5.6
elektrische Eigenschaften
Dielektrizitätskonstante
1 MHz
8.6
Verlustfaktor
1 MHz
5x10 ^ -4
Durchschlagfestigkeit
kV / mm
> 15
Volumenwiderstand


25 ° C
Ω cm
> 10 ^ 13
300 ° C
Ω cm
10 ^ 9
500 ° C
Ω cm
10 ^ 7

Aluminiumnitrid-Keramik-Heizung


Häufig gestellte Fragen
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