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Aluminiumnitrid-Standheizung

Aluminiumnitridkeramik (AlN) ist ein ideales Material für viele Anwendungen in der Halbleiter- und Medizinindustrie. Mit hoher Wärmeleitfähigkeit, hoher Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit und geringer Porosität.

Aluminiumnitrid-Standheizung

Aluminiumnitrid-Standheizung


Aluminiumnitridkeramik (AlN) ist ein ideales Material für viele Anwendungen in der Halbleiter- und Medizinindustrie.


aluminum nitride pedestal heater


Aluminiumnitrid-Standheizung Vorteil

  • Hohe Wärmeleitfähigkeit wie metallisches Aluminium, 7-mal höher als Aluminiumoxid (Al2O3)

  • Ähnlicher Wärmeausdehnungskoeffizient wie Silizium (Si)

  • Hohe elektrische Isolation

  • Hochbeständig gegen Plasma unter einer Gasatmosphäre auf Fluorbasis

  • Sehr dichte und feinkörnige Struktur

  • Eine Vielzahl von Materialien, die für verschiedene Zwecke geeignet sind (Typ mit hoher Wärmeleitfähigkeit / Typ mit hoher Reinheit)

  • Größen geeignet für Halbleiterfertigungsanlagen



Aluminiumnitrid-Standheizung ist sreichlich HalbleiterHerstellungund medizinischAusrüstungAnwendungen umfassen:

• Platten

• Wafer

• Ringe

• Gasverteilungsplatten

• Düsen

• Leitbleche

• Standheizungen

• Abdeckplatten

• RF-Fenster

• Tiegel


Aluminiumnitrid-Standheizung Details

Aluminiumnitrid-Standheizung hat eine geringe Dichte und ist 60% leichter als Stahl.

Aufgrund derAluminiumnitrid-Standheizung kann tragen, dass die maximale Temperatur 1500 ℃ ist, also kann in der Halbleiterheizung verwendet werden


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