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Kammerhaube Und Zwischenlagen
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Kammerkuppeln werden verwendet, um in Abscheidekammern eine saubere, inerte und geschützte Umgebung zu schaffen.

Kammerhaube Und Zwischenlagen

Chamber Dome und Liner


Kammerkuppeln werden verwendet, um in Abscheidekammern eine saubere, inerte und geschützte Umgebung zu schaffen. Durch chemische Reaktionen in der Kammer werden dünne Schichten aus metallischem, dielektrischem oder halbleitendem Material auf den Wafern abgeschieden.

Kammerdeckel und -auskleidungen sind während des Abscheidungs- oder Ätzprozesses Plasma ausgesetzt, was eine Kombination aus hoher Plasma-Haltbarkeit, Reinheit und Spannungsfestigkeit erfordert. Hochreines Aluminiumoxid (Al2O3) und Aluminiumnitrid (AlN) werden häufig verwendet, um diese Geräteherausforderungen zu erfüllen.

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